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荷兰阿斯麦尔公司发布第一代多光束检测系统
2020-06-02

【据荷兰阿斯麦尔网站2020528日报道】528日,荷兰阿斯麦尔公司宣布,其第一代HMI多光束检测系统(用于5 纳米节点技术及更先进技术)的系统集成与测试工作全都完成了。HMI eScan1000成功展示了多光束操作,与此同时,其还扫描了许多测试晶片上的九道光束。与专用于在线缺陷检查应用的单个电子束检查工具相比,eScan1000多光束检测系统配备了九道光束,产量提升率高达600%。

eScan1000多光束检测系统配备了一个电子光学系统,该系统能够生成并控制多个初级电子小束,然后收集并加工所产生的二次电子束,从而将电子束与电子束之间的串扰限制在2%以下,并提供质量一致的成像。此外,这个新的多光束检测系统还有一个能够提高系统整体产量的高速平台,配备了一个高速计算架构来对源自多个子束的数据流进行实时处理。

阿斯麦尔公司产品营销部副总裁盖里·张表示:“由于每项新技术的关键尺寸仍在缩小,那些‘致命的’缺陷也越来越小了,因此,业内无法通过使用光学检测来发现很多缺陷。而我们的新型多光束检测系统能够检测到这些较小的缺陷,同时还解决了以前的电子束在产量上存在限制的问题,使其更适合于大批量制造的情况。”

eScan1000多光束检测系统能够提供一定范围的束电流,适用于物理缺陷检查以及电压对比检查。这样一来,客户就能够全身心地对工艺开发、大批量生产上所存在的种类各异的缺陷进行偏差监控。

此外,该系统独有的“超新星”芯片以及数据库缺陷检测功能可以让芯片制造商使用晶圆打印检查来检测极紫外掩模上的缺陷。它能检测到光学检测系统所遗漏的缺陷,花费的时间比大批量制造所需的单个电子束解决方案短。

本周,第一个多光束检查系统已交付给客户进行鉴定。阿斯麦尔公司打算为该系统的后续系列增加光束数量并提高光束分辨率,从而能够实现芯片制造商在产品路线图上的要求。(国家工业信息安全发展研究中心 朱航琪

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